1) Çѱ¹¸¶ÀÌÅ©·ÎÀüÀÚ ¹× ÆÐŰ¡ÇÐȸ ¿ì¼ö Æ÷½ºÅÍ ¹ßÇ¥ ³í¹®»ó ¼ö»ó
Áö³ 11¿ù 15ÀÏ, Çѱ¹°úÇбâ¼úȸ°ü¿¡¼ ¿¸° Çѱ¹¸¶ÀÌÅ©·ÎÀüÀÚ ¹× ÆÐŰ¡ÇÐȸÀÇ 2012³âµµ Á¤±âÃÑȸ ¹× Á¤±âÇмú´ëȸ¿¡¼ ¼¿ï°úÇбâ¼ú´ëÇб³ ±â°è½Ã½ºÅÛµðÀÚÀΰøÇаúÀÇ ±è¼±¿µ, ÀÓ³ªÀº Çлý(±â°è½Ã½ºÅÛµðÀÚÀΰøÇаú ±è¼ºµ¿ ±³¼ö, NIDÀ¶ÇÕ±â¼ú´ëÇпø ±èÀº°æ ±³¼ö Áöµµ)ÀÌ ¿ì¼ö Æ÷½ºÅÍ ¹ßÇ¥ ³í¹®»óÀ» ¼ö»óÇÏ¿´´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸¿¡¼´Â Fabrication and Reliability for 3D Stacked IC ManufacturingÀ̶ó´Â ÁÖÁ¦·Î ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰ¡ÀÇ »õ·Î¿î Æз¯´ÙÀÓÀÎ TSV¸¦ È°¿ëÇÑ 3D ÆÐŰ¡À» ±¸ÇöÇÏ°íÀÚ º»µù °è¸éÀ» ºÐ¼®À» ÅëÇÑ ÆÐŰ¡ÀÇ ÁúÀû Çâ»óÀ» À§ÇÑ ¿¬±¸°¡ ÁøÇà Áß¿¡ ÀÖ´Ù.
Çѱ¹¸¶ÀÌÅ©·ÎÀüÀÚ ¹× ÆÐŰ¡ÇÐȸ´Â ¸Å³â °³Ãֵǰí ÀÖÀ¸¸ç, International Microelectronics And Packaging Society ±¹Á¦ ÇÐȸÀÇ ÀÚ¸ÅÇÐȸ·Î¼ ´ëÇÐ ¹× ¿¬±¸¼Ò °£ÀÇ Çмú ¹× ±â¼ú±³·ù¸¦ À§ÇÑ È°µ¿À» ÁÖ¸ñÀûÀ¸·Î ÇÏ°í ÀÖ¾î À̹ø ÇÐȸ¿¡µµ ¿ì¸® Çб³¸¦ ºñ·ÔÇØ ¼¿ï½Ã¸³´ë, ¼º±Õ°ü´ë, ÇѾç´ë µîÀÇ ´ëÇб³¿Í Çѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø, Çѱ¹±â°è¿¬±¸¿ø µîÀÇ ¿¬±¸¿ø¿¡¼ 50°³ÀÇ Æ÷½ºÅÍ°¡ Âü°¡ÇÏ¿´´Ù.
2) 2012³â Çѱ¹¾Ð·Â±â±â°øÇÐȸ ¿¬Â÷Çмú´ëȸ ¿ì¼ö ³í¹®»ó ¼ö»ó ¼¿ï°úÇбâ¼ú´ëÇб³ ±â°è½Ã½ºÅÛµðÀÚÀΰøÇаú 4Çг⿡ ÀçÇÐ ÁßÀÎ ÀÌÈֽ Çлý(Áöµµ±³¼ö : Çã³²¼ö ±³¼ö)ÀÌ 2012³âµµ Çѱ¹¾Ð·Â±â±â°øÇÐȸ ¿¬Â÷Çмú´ëȸ¿¡¼ ¿ì¼ö ³í¹®»óÀ» ¼ö»óÇÏ¿´´Ù. Çѱ¹¾Ð·Â±â±â°øÇÐȸ´Â ¿øÀÚ·Â, °¡½º, ÁßÈÇÐ, ¼®À¯ÈÇÐ, ¿¡³ÊÁö µî Ç÷£Æ® »ê¾÷ Àü¹Ý¿¡¼ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â ¾Ð·Â±â±â¿¡ ´ëÇÑ ¾ÈÀü¼º Æò°¡ ±â¼ú ¹× ±âÁØÀ» °³¹ßÇϱâ À§ÇØ ¼³¸³µÈ ´Üü·Î ±¹³» ÃÖ°í ±ÇÀ§ÀÇ »êÇп¬ Àü¹®°¡µéÀÌ Âü¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¿ÃÇØ 11¿ù º¸±¤ ÈִнºÆÄÅ©¿¡¼ °³ÃÖµÈ ¿¬Â÷Çмú´ëȸ¿¡¼ ÀÌÈֽ ÇлýÀº ¡°º¸¼ö¿ëÁ¢ Çؼ® ÀýÂ÷°¡ ÀÌÁ¾±Ý¼Ó ¸Â´ë±â ¿ëÁ¢ºÎ ÀÀ·ÂºÎ½Ä±Õ¿ ¼ºÀå Æò°¡¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇ⡱ À̶ó´Â Á¦¸ñÀÇ ³í¹®À» ´ëÇ¥ÀúÀڷμ ¹ßÇ¥ÇÏ¿´À¸¸ç, º» ³í¹®¿¡¼´Â À¯ÇÑ¿ä¼Ò Àü»êÇؼ®À¸·Î ¿øÀÚ·Â ¹è°üÀÇ º¸¼ö¿ëÁ¢ ÀýÂ÷¸¦ ¸ð»çÇÔÀ¸·Î½á º¸¼ö¿ëÁ¢À» °í·ÁÇÑ ÃÖÀû ±¸Á¶Çؼ® ±â¹ý ¹× ±Õ¿ °ÇÀü¼º Æò°¡ °á°ú¸¦ »õ·ÎÀÌ Á¦½ÃÇÏ¿´´Ù.
º» ¿¬±¸ °á°ú´Â 4Çгâ Á¹¾÷³í¹®À¸·Î ¼öÇàµÈ °ÍÀ¸·Î º» Çмú´ëȸ¿¡¼ ÇкΠ¿¬±¸»ýÀÌ ¿ì¼ö³í¹®»óÀ» ¼ö»óÇÑ °ÍÀº ¸Å¿ì ÀÌ·ÊÀûÀÎ °ÍÀ¸·Î ±â°è½Ã½ºÅÛµðÀÚÀΰøÇаú ÇлýµéÀÇ ¿ì¼öÇÑ ¿¬±¸ ¿ª·®À» °ú½ÃÇÏ´Â ±âȸ°¡ µÇ¾ú´Ù. ÀÌÈֽ ÇлýÀº ¾ÕÀ¸·Î ¿ì¸® ´ëÇÐ ±â°è½Ã½ºÅÛµðÀÚÀΰøÇаú ´ëÇпø ÁøÇÐÀ» ÅëÇØ Ç÷£Æ® ±¸Á¶ °ÇÀü¼º Æò°¡ ºÐ¾ßÀÇ Àü¹®°¡·Î ´õ¿í ¼ºÀåÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.